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江南根本看不清彈幕,只是從滿屏得感嘆號和愛國表情包里看出,大家的確對光刻機面世一事非常激動。
主持人竭力穩(wěn)住心神,按照流程宣布。
“首先,讓我們歡迎座談會得主角江南先生,還有清大代表團與旁聽席得朋友們,以及咱們熱情得聽眾朋友!”
“現(xiàn)在開始清大代表團的提問環(huán)節(jié)。此次清大派出了三位資深教授參與本次交流,他們將在技術(shù)層面與江先生進(jìn)行深入探討。”
“他們分別是:微電子學(xué)院院長蘇敏教授;國家重點實驗室主任沈清云教授;以及清大副校長、中國科學(xué)院院士黎朔教授。”
三位教授沖聽眾依次打過招呼,聲音鎮(zhèn)定中隱含激動。
蘇敏教授單刀直入,直接開口問道。
“我們都知道光刻機的研發(fā)有三大公認(rèn)的世界級難題:極高精度運動控制系統(tǒng)、極紫外光源的穩(wěn)定產(chǎn)生、以及光學(xué)鏡面的納米級加工。根據(jù)目前公開的信息,華國光刻機在這三個方面都取得了顯著突破。我想請江南同學(xué)重點談?wù)劊跇O紫外光源的穩(wěn)定產(chǎn)生方面,你們是如何解決功率和穩(wěn)定性的矛盾問題的?據(jù)我所知,目前國際上最先進(jìn)的技術(shù)也只能維持250瓦左右的光源功率,且穩(wěn)定性不超過85%。”
話音落下,聽筒中瞬間鴉雀無聲。
如果有人能透過網(wǎng)線看到旁觀席代表得表情,就會知道有多少人因這個問題倒抽一口冷氣。
無他,實在是這會問題太過專業(yè)也太過犀利,算得上是光刻機最核心的技術(shù)難題之一。
他們不敢想,華國居然會直白得把這個問題就這么問出來。
“他們怎么敢問的這么詳細(xì)?待會江南會說實話嗎?”
“簡直是瘋了,華國這什么意思,把我們拒之門外不讓我們提問,但自己卻率先開口。他們不知道這是光刻機最有含金量的核心機密嗎?”
“怎么可能不知道,我打賭江待會肯定會胡說八道。”
“上帝保佑他至少透露一點有用的東西!我會很感激他的。”
不管這些西方代表心中作何感想,幾秒之后,江南平靜得聲線通過麥克風(fēng)傳來。
同聲傳譯第一時間把他的聲音翻譯給這些西方代表。
沒錯,在確認(rèn)光刻機是真的誕生,江南也愿意讓他們旁聽之后,為了第一時間得到光刻機相關(guān)信息,西方代表們直接啟動了官方國際會議中才會使用的頂級同聲傳譯,至少同步五種語言。
“蘇教授提到的確實是光刻機的關(guān)鍵難點。傳統(tǒng)極紫外光源采用二氧化碳激光轟擊錫滴產(chǎn)生等離子體的方式,這個過程存在能量轉(zhuǎn)換效率低、錫滴污染鏡面、功率穩(wěn)定性差三大問題。”
江南略一停頓,細(xì)細(xì)組織語言,隨后聲音似水般在眾人耳中流淌。
“我們的解決方案是雙路徑創(chuàng)新。首先是幾番測驗后開發(fā)了一種新型的錫靶材料,通過摻雜特定的稀土元素,改變了錫滴的表面張力和蒸發(fā)特性。其次,我們重新設(shè)計了激光轟擊的時序和角度,采用非對稱多脈沖轟擊模式。”
江南越說越快,越說越流暢,就好像這些復(fù)雜晦澀至極的專業(yè)名詞,在他腦海中早就過過不止一遍。
“具體來說,我們將單個高能脈沖分解為一組精確控制的微脈沖序列。第一個微脈沖使錫滴預(yù)電離,第二個微脈沖在特定相位注入,使等離子體形成特定的磁流體結(jié)構(gòu)……這樣可以減少碎屑產(chǎn)生,提高能量耦合效率。”
“目前我們的原型機可以實現(xiàn)穩(wěn)定功率380瓦,連續(xù)工作穩(wěn)定性達(dá)到94.7%,碎屑污染降低到傳統(tǒng)方法的十八分之一。相關(guān)材料配方和時序控制算法,我們已經(jīng)申請了專利保護。”
話音落下,彈幕瞬間飆升:
“不明覺厲,雖然聽不懂但大受震撼!江南口條這么好嗎?一口氣說這么多居然連個磕巴都不打。”
“不可能是在讀稿子吧?難道這些問題是提前設(shè)置好的?”
“前面的,清大已經(jīng)第一時間辟謠了,這些問題真的全都是隨機的。誰敢信,連清大參加交流會都是隨機的,之前他們根本就不知道江南研究出了光刻機。”
“媽呀,一個敢隨機問一個敢隨機答。這是多牛逼的應(yīng)對能力。不對,這是江南對自己的業(yè)務(wù)有絕對自信吧!”
“94.7%的穩(wěn)定性?!這數(shù)據(jù)是真實的嗎?太可怕了!”
“專利保護!做得好!核心技術(shù)必須保護起來”
“那些想白嫖技術(shù)的外國機構(gòu)現(xiàn)在傻眼了吧?嘿嘿,專利早安排上了,抄都抄不著。”
“江南教授的聲音好好聽,俺又愛上了。”
“不知道你們有沒有注意到,所有具體數(shù)字和操作細(xì)節(jié)都沒說哈哈哈哈哈哈,那幫旁聽的估計要抓心撓肝了,江南好雞賊啊。”
“怎么說話呢,人家這叫聰明!所有的操作細(xì)節(jié)問啥答啥還不夠意思嗎?想知道具體數(shù)字?讓他們自己去試啊!”
“江南真的一句廢話都不說哎,這才叫干貨交流會!”
“……”